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粗糙度儀表面粗糙度測量技術(shù)未來的發(fā)展方向

發(fā)布時間:2021.01.11 閱讀量:1133

近年來,隨著機械、電子以及光學(xué)工業(yè)的飛速發(fā)展,對精密機械加工表面的質(zhì)量要求日益提高,使得表面粗糙度的測量具有越來越重要的地位。對激光核聚變驅(qū)動器、磁盤、 光盤、X射線光學(xué)儀器元件、大功率激光窗口以及同步輻射器元件的表面粗糙度要求,均已達到了納米級要求。這些需求也極大的促進了表面粗糙度測量技術(shù)的發(fā)展。粗糙度輪廓儀表面粗糙測量技術(shù)的未來發(fā)展方向如何呢?下面就跟隨鴻華小編一起來了解下。

現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域?qū)Ρ砻娴馁|(zhì)量提出了更高的要求,一方面現(xiàn)有的常規(guī)檢測方法不能滿足測量精度的要求,特別是最近幾年以來納米技術(shù)的出現(xiàn)和逐步的推廣應(yīng)用, 相應(yīng)的提高了對表面粗糙度測量精度的要求,使表面粗糙度測量技術(shù)吵著更精、更準(zhǔn)的方向發(fā)展。

粗糙度儀

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另一方面,復(fù)雜立體形狀加工技術(shù)的發(fā)展也對三維表面粗糙度測量的發(fā)展提出了新的要求。在過去很長一個時期內(nèi)關(guān)于表面粗糙度的表征參數(shù)都是在某一法向截面所截得的 輪廓線上進行評定,只反映高度和橫向距離之間的關(guān)系。屬于“二維”評定;但當(dāng)需要考察的表面粗糙度是一個小面積區(qū)域內(nèi)做評定時,就還應(yīng)考慮縱向的距離關(guān)系,這就拓展為“三維”評定表面粗糙度成為可行。

電子技術(shù)、計算機技術(shù)和精密加工技術(shù)的發(fā)展為表面粗糙度測量的進一步發(fā)展提供了技術(shù)基礎(chǔ)。20世紀(jì)80年代出現(xiàn)的原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、掃描進場光學(xué)顯微鏡(SNOM)、光子掃描隧道顯微鏡(PSTM)等用于表面粗糙度的測量時一個很希望的方向。

此外,在科學(xué)研究和生產(chǎn)實踐的許多領(lǐng)域,以往的加工后抽樣測量已經(jīng)不能再滿足要求,這就需要有能夠?qū)崿F(xiàn)在線測量的測量新方法。一次超高精度表面的高精度測量、三維表面粗糙度測量以及在線實時測量使粗糙度測量將來發(fā)展的主要方向。



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